『壹』 arf光刻胶是啥意思
ArF光刻胶的是由成膜树脂、光致产酸剂（简称“光酸”，光引发剂的一种）、溶剂、碱、流平剂以及其他功能助剂。其中，核心原材料是树脂，而树脂是由单体通过高分子聚合反应并经过一定的后处理而得到的。ArF光刻胶配制过程包括原材料准备和预处理（树脂合成、提纯、降金杂，以及光酸合成和预处理）、混合、质量控制与调整、灌装入库等。