① 離子刻蝕機和PVD有什麼區別
離子刻蝕機主要是用於刻蝕矽片用的,pvd是物理沉積,蒸鍍之類的內容
② 刻蝕機干刻有過刻什麼原因
呵呵,我以前在半導體做了兩年啊!懂一點點吧! 以前我在的是蝕刻區!半導體制蝕刻(Etching) (三)蝕刻(Etching) 蝕刻的機制,按發生順序可概分為「反應物接近表面」、「表面氧化」、「表面反應」、「生成物離開表面」等過程。所以整個蝕刻,包含...3731
③ 等離子刻蝕機和光刻機的產品是一樣的嗎
用激光刻蝕的機器,比如做晶元的用來刻蝕電路,又比如激光雕刻
④ 國外icp氮化鎵刻蝕機廠商都有那幾家
太陽電池製作工藝太陽能電池工藝簡介及廠房建設總結 我公司從02年開始,先後承接過目前國內太陽能電池行業主流公司的一系列項目(從矽片製造到組件生產),通過完成這些項目的設計、施工和二次配,我公司無疑已成為業內承接太陽能電池生產廠房的最專業公司。我自己還見證了以上某項目從破土動工到正式投產,甚至停產改造的所有過程,也曾去過兄弟太陽能項目,通過現場的親歷和對這些公司施工圖的研讀,對太陽能電池的生產工藝及廠房及建設略知一二,願在此與大家探討。 一、工藝簡介 在上一次《太陽能電池的一些資訊》中,對於生產原理,我已經做過敘述,太陽能電池生產工藝一般分為:擴散前清洗、擴散、擴散後清洗、刻蝕、PECVD,絲網印刷,燒結,分類檢測和封裝。 擴散前清洗的目的在於制絨,就是把相對光滑的原材料矽片的表面通過強酸和強鹼腐蝕,使其凸凹不平,變得粗糙,形成漫反射,減少直射到矽片表面的太陽能的損失。相關設備有無錫瑞寶,德國RENA,深圳捷佳創,這些設備中最好的是RENA,因為他不光賣設備,還賣制絨工藝的專利。所使用的介質有HF,HCL,HNO3,NaOH,Na2SiO3和乙醇等。動力源有自來水,純水,壓縮空氣,氮氣,工藝冷卻水,廢水,熱排風和酸排風。 擴散的目的在於形成PN結。矽片含硼,是P型結物質,需要往裡面摻雜磷,使電子發生移動,形成PN結空穴。所使用的介質有POCL3,N2,O2。動力源有壓縮空氣,氮氣,工藝冷卻水,熱排風和有機排風。使用的設備是高溫擴散爐,廠商有SVCS,TEMPRESS,長沙48所等。該道工藝有潔凈要求,需要在潔凈室內運行。因為擴散爐內的石英管需要清洗,所以需要增加一種石英管清洗機。 擴散後清洗的目的在於洗去擴散時形成的磷硅玻璃,即SiO2和 P2O5的混合物,所以擴散後清洗機又叫做去磷硅玻璃清洗機。動力源有氮氣,壓縮空氣,純水,HF,熱排風,酸排風,廢水等。設備有深圳捷佳創。 刻蝕的目的在於把矽片的邊緣PN結斷開,防止短路。目前國內所使用的設備幾乎都是長沙48所的。動力源有CF4,N2,NH3,熱排風,有機排風。 PECVD的目的在於鍍氮化硅薄膜,增加折射率,同時摻雜H元素,使缺陷減少,還可以保護矽片。所用設備有德國的ROTH&RAW平板式PECVD設備,還有CENTROTHERMO的管式PECVD設備。動力源有SiH4,NH3,氮氣,壓縮空氣,工藝冷卻水,熱排風,硅烷排風等。 絲網印刷的目的在於印刷導電電極。先印背面,再印正面。目前國內大多數廠家使用設備是義大利的BACCINI印刷線。動力源有真空,壓縮空氣,熱排風,有機排風等。 燒結的目的是把電極燒結在PN結上。高溫燒結可以使電極穿透氮化硅膜,形成合金。所用設備有美國DESPACH等。動力源有壓縮空氣,工藝冷卻水,熱排風,有機排風等。 分類檢測的目的在於把電池片按照效率進行分類。目前國內大多數廠家使用設備是義大利的BACCINI檢測儀。動力源有真空,壓縮空氣。 最後一道工藝就是熱塑包裝。 二、廠房建設經驗總結 一條年產量25MW的生產線,設備佔地至少需要1100平方米,而國內廠商一般很少有隻計劃一條線的公司,所以太陽能電池生產車間凈面積都在2000平方米以上。按照16小時甚至24小時生產來計算,工藝人員不下於百人,所以相應的辦公室,更衣間,食堂,宿舍,衛生間等設施都不能太小。外線動力站(製冷,供熱,純水,空壓,真空,空調,工藝冷卻水,消防,變配電,自控,通訊等)房總面積不小於2000平方米。廠房和動力站房有鋼筋混凝土框架結構,多層建築的,也有鋼結構加金屬復合板單層建築的,但布置工藝和動力設備的樓層,因管線眾多,層高都較大,至少是7米。 以下經驗總結均以50MW生產線為例。 電源是整個工廠的首要條件,僅工藝和動力設備用電功率就在1800KW左右,必須有可靠的電能供應。PECVD設備,製冷機,空壓機,空調風機和循環水泵是用電功率較大的設備。 工藝純水的用量在15噸/小時左右,水質標准都要達到中國電子級水的技術指標GB/T11446.1-1997中EW-1級。工藝冷卻水用量也在15噸/小時左右,水質中微粒粒徑不宜大於10微米,供水溫度宜在15-20℃,供水壓力5巴左右,應有可靠的溫度,供水壓力控制,最好採用變頻泵。 壓縮空氣用量在400NM3/H左右,如果空氣品質要求較高,如需要達到壓縮空氣質量等級的1級甚至更高要求,建議使用無油空壓機。如果露點溫度要求苛刻,乾燥機建議使用組合式。真空排氣量在300M3/H左右,水環式真空泵雖然便宜,但是效率下降的也快,不推薦使用。氮氣和氧氣如果靠近大的氣體供應站,一般採用液體儲罐供應的方式,初投資低,氮氣儲罐20立方米左右,氧氣10立方米足夠。特殊氣體如硅烷等,考慮安全因素,單獨設置一個特氣間還是很有必要的。 空調系統的空氣處理方式則視具體土建情況而言,可以採取組合式空氣處理機組集中處理,也可以採用干盤管進行分散處理。生產車間出擴散區外,溫濕度均只要滿足人體舒適性即可,建議冬夏能有一定變化,這樣既可節能,又讓人能適應室內外溫度變化,不易感冒。擴散區由於對潔凈度要求較高,需要設計獨立的空氣處理系統,主要關注的是潔凈度,該區散熱量也較大。酸排氣量不小於10000M3/H,一般採用濕式洗滌、中和的處理方式。有機排氣量也不小於10000M3/H,一般採用乾式吸附法處理。熱排風量也不小於13000M3/H,因為只是普通排氣,可以不用處理,直接排放即可。相對而言,硅烷處理要謹慎,否則容易起火。 整個施工試車過程中,特別要注意的是水,氣通入設備之前除做好強度嚴密性試驗,確保無滲漏外;務必保證清洗、吹掃試驗要干凈徹底,否則,設備一旦被污染,再次清洗不但代價昂貴,甚至會造成重大損失。二次配管時,某些設備的特殊需要,則根據業主的要求和初投資而定,如擴散爐具有較強腐蝕性的高溫酸性排風;供強酸、強鹼、特氣的多層管路,PECVD、刻蝕機的隔聲泵房等。 廠房設計和施工公司的選擇,是考驗投資方智慧和眼光的大事,切不可因一時便宜而選擇之。沒有選擇好專業的公司,將會付出成沉重的代價。 工廠建成以後,最重要的就是運行維護。太陽能電池廠房動力保障是一個復雜的系統,需要至少2-4名理論功底扎實,動手能力強、富有高度責任感的工程師核心隊伍,經常對各動力系統進行巡察,及時分析和解決出現的問題,甚至適時提出改造方案;否則不能及時發現隱患,很可能等問題出現時導致停產。
⑤ ICP刻蝕機反射功率過高
反偏過高是因為功率匹配的不好~主要是不清楚你們是什麼樣的刻蝕機。
⑥ 中國的光刻機與刻蝕機已經達到世界先進水平,為什麼有些人還說中國晶元業依舊前路艱辛
據媒體報道,2018年12月,中微半導體設備(上海)有限公司自主研製的5納米等離子體刻蝕機經台積電驗證,性能優良,將用於全球首條5納米製程生產線。5納米,相當於頭發絲直徑(約為0.1毫米)的二萬分之一,將成為集成電路晶元上的最小線寬。台積電計劃2019年進行5納米製程試產,預計2020年量產。
中國的刻蝕機的確是達到了世界先進水平,光刻機還早,而且就算是這兩樣都世界先進了,不代表中國晶元業的前路就不艱辛了。目前中國的刻蝕機的確領先,5納米等離子體刻蝕機已經通過台積電驗證;但是光刻機就差多了,之前新聞報道中提到的「中科院SP超分辨光刻機」其實最多隻能算是一個「原型機」,和ASML的光刻機不能相提並論,也不能用來製造晶元,還需要攻克一系列的技術難題退一步講,就算是中國的光刻機與刻蝕機都達到世界領先就解決問題了么?ASML的EUV光刻機我們已經下單等待交貨了,是不是到貨以後中國就可以生產7nm甚至是5nm的晶元了不要把問題想簡單了,以為晶元也只有光刻機和刻蝕機。晶元製造的技術、經驗、工藝以及人才是一個系統性的工程,台積電也不是一天建成的,有了光刻機也不代表我們就能造出最頂尖的晶元。
⑦ 你們廠有沒有二手噴刻蝕機賣啊我也是做蝕刻的。買不起新的就買舊的。呵呵
你好,我們的蝕刻機也都是新的, 沒有二手的,我們可以給你定做經濟實惠的機型哦。
⑧ 為什麼中國的5納米刻蝕機不能突破華為的晶元壓制eimkt
中國目前還沒有生產出五納米刻蝕機,而且華為晶元從設計到製造都需要國外的技術和設備,並不是只缺一台光刻機。
⑨ 光刻機和刻蝕機的區別
刻蝕相對光刻要容易。光刻機把圖案印上去,然後刻蝕機根據印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒有圖案)的部分,留下剩餘的部分。
「光刻」是指在塗滿光刻膠的晶圓(或者叫矽片)上蓋上事先做好的光刻板,然後用紫外線隔著光刻板對晶圓進行一定時間的照射。原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質,易於腐蝕。
「刻蝕」是光刻後,用腐蝕液將變質的那部分光刻膠腐蝕掉(正膠),晶圓表面就顯出半導體器件及其連接的圖形。然後用另一種腐蝕液對晶圓腐蝕,形成半導體器件及其電路。
(9)刻濁機股票擴展閱讀:
光刻機一般根據操作的簡便性分為三種,手動、半自動、全自動
1.手動:指的是對準的調節方式,是通過手調旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對准,對准精度可想而知不高了;
2.半自動:指的是對准可以通過電動軸根據CCD的進行定位調諧;
3.自動: 指的是 從基板的上載下載,曝光時長和循環都是通過程序控制,自動光刻機主要是滿足工廠對於處理量的需要。