① 蚀刻机、光刻机、光栅刻画分别是什么意思
蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液,经由化学反应以达到蚀刻的目的,化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。
光刻机(MaskAligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫MaskAlignmentSystem.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻)意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时"复制"到硅片上的过程。
光栅刻画:光学中光栅最通常的作用是色散。光栅刻划是制作光栅的方法之一。
② 神工股份在刻蚀用半导体级单晶硅材料领域的发展目标是什么
公司将继续依托自身的技术优势及丰富的半导体市场经验,增加技术研发投入,提高生产管理效率,并紧密围绕“半导体材料国产化”的国家战略,成为中国乃至世界半导体硅材料领域的领先者。
③ 史密德刻蚀机报取消排空功能是什么意思
大家都应该明白空调的工作原理吧?空调由室内机和室外机组成,运行时,空调就相当于“热量搬运工”,压缩机工作,在蒸发器和冷凝器的作用下,冷媒从液态转为气态,再从气态转变为液态,实现吸热和放热,不断循环,从而实现制冷和制热。
④ ITO镀膜激光刻蚀机 有那位大哥有这款刻蚀机的详细资料,麻烦给小弟发一下,谢谢了,有高分哦
ITO镀膜激光刻蚀机是由激光对ITO Glass和ITO Film上的ITO镀膜实施电极刻蚀加工的精密设备。可在玻璃、PET基底上ITO镀膜、多晶膜和其他氧化物薄膜上大范围内进行各种图案,各种尺寸的精密、高速刻蚀,加工多种电极。尤其适用于手机触摸屏的电极刻蚀。
一、技术特点:
高重复率,高功率
快速材料去除率
无化学腐蚀对环境的污染
高精度二维运动平台,高速振镜系统
二、应用领域
玻璃基底上ITO镀膜处理;PET(Poly ethylene Terephthalate)基底上ITO镀膜处理。
三、技术参数
平均输出功率:20W
激光波长:1064nm
打标幅面:110mm×110mm
工作台行程:400m
⑤ 离子刻蚀机和PVD有什么区别
离子刻蚀机主要是用于刻蚀硅片用的,pvd是物理沉积,蒸镀之类的内容
⑥ 5nm刻蚀机入驻台积电,对我国半导体行业产生怎样的影响eimkt
台积电还是受美国限制,没办法,原来说采用30%的美国技术才受限
台积电还可以在这个范围帮助华为
但是后来美国把这个范围限制到10%,所以没办法了,包括中芯国际都要受这个制约
主要的光刻机生产商 荷兰光刻机公司asml背后其实也是受美国控制的
⑦ 蚀刻机价格及使用成本药水成本价格是多少
蚀刻机分为化学蚀刻机和电解蚀刻机两大类,而化学蚀刻机根据工作方式的不同又可以分为泼溅式、喷淋式、摇摆式等。蚀刻机的价格主要取决于蚀刻机的最大蚀刻面积、蚀刻区长短、以及配件材质的类型。一般说来市售的成品化学蚀刻机价格从几千到几万都有。以个人经验来看,普通的蚀刻生产中,自己制作蚀刻机也不是很难的事情,只要能够满足较快速度和均匀蚀刻就算是合格的蚀刻机,没必要拘泥哪种型号的机器。而药水一般有三氯化铁系列、氯化铜系列等,药水成本价格以蚀刻不锈钢的三氯化铁药水为例,每公斤成本价大约为1.5-2元左右。
⑧ 国外icp氮化镓刻蚀机厂商都有那几家
太阳电池制作工艺太阳能电池工艺简介及厂房建设总结 我公司从02年开始,先后承接过目前国内太阳能电池行业主流公司的一系列项目(从硅片制造到组件生产),通过完成这些项目的设计、施工和二次配,我公司无疑已成为业内承接太阳能电池生产厂房的最专业公司。我自己还见证了以上某项目从破土动工到正式投产,甚至停产改造的所有过程,也曾去过兄弟太阳能项目,通过现场的亲历和对这些公司施工图的研读,对太阳能电池的生产工艺及厂房及建设略知一二,愿在此与大家探讨。 一、工艺简介 在上一次《太阳能电池的一些资讯》中,对于生产原理,我已经做过叙述,太阳能电池生产工艺一般分为:扩散前清洗、扩散、扩散后清洗、刻蚀、PECVD,丝网印刷,烧结,分类检测和封装。 扩散前清洗的目的在于制绒,就是把相对光滑的原材料硅片的表面通过强酸和强碱腐蚀,使其凸凹不平,变得粗糙,形成漫反射,减少直射到硅片表面的太阳能的损失。相关设备有无锡瑞宝,德国RENA,深圳捷佳创,这些设备中最好的是RENA,因为他不光卖设备,还卖制绒工艺的专利。所使用的介质有HF,HCL,HNO3,NaOH,Na2SiO3和乙醇等。动力源有自来水,纯水,压缩空气,氮气,工艺冷却水,废水,热排风和酸排风。 扩散的目的在于形成PN结。硅片含硼,是P型结物质,需要往里面掺杂磷,使电子发生移动,形成PN结空穴。所使用的介质有POCL3,N2,O2。动力源有压缩空气,氮气,工艺冷却水,热排风和有机排风。使用的设备是高温扩散炉,厂商有SVCS,TEMPRESS,长沙48所等。该道工艺有洁净要求,需要在洁净室内运行。因为扩散炉内的石英管需要清洗,所以需要增加一种石英管清洗机。 扩散后清洗的目的在于洗去扩散时形成的磷硅玻璃,即SiO2和 P2O5的混合物,所以扩散后清洗机又叫做去磷硅玻璃清洗机。动力源有氮气,压缩空气,纯水,HF,热排风,酸排风,废水等。设备有深圳捷佳创。 刻蚀的目的在于把硅片的边缘PN结断开,防止短路。目前国内所使用的设备几乎都是长沙48所的。动力源有CF4,N2,NH3,热排风,有机排风。 PECVD的目的在于镀氮化硅薄膜,增加折射率,同时掺杂H元素,使缺陷减少,还可以保护硅片。所用设备有德国的ROTH&RAW平板式PECVD设备,还有CENTROTHERMO的管式PECVD设备。动力源有SiH4,NH3,氮气,压缩空气,工艺冷却水,热排风,硅烷排风等。 丝网印刷的目的在于印刷导电电极。先印背面,再印正面。目前国内大多数厂家使用设备是意大利的BACCINI印刷线。动力源有真空,压缩空气,热排风,有机排风等。 烧结的目的是把电极烧结在PN结上。高温烧结可以使电极穿透氮化硅膜,形成合金。所用设备有美国DESPACH等。动力源有压缩空气,工艺冷却水,热排风,有机排风等。 分类检测的目的在于把电池片按照效率进行分类。目前国内大多数厂家使用设备是意大利的BACCINI检测仪。动力源有真空,压缩空气。 最后一道工艺就是热塑包装。 二、厂房建设经验总结 一条年产量25MW的生产线,设备占地至少需要1100平方米,而国内厂商一般很少有只计划一条线的公司,所以太阳能电池生产车间净面积都在2000平方米以上。按照16小时甚至24小时生产来计算,工艺人员不下于百人,所以相应的办公室,更衣间,食堂,宿舍,卫生间等设施都不能太小。外线动力站(制冷,供热,纯水,空压,真空,空调,工艺冷却水,消防,变配电,自控,通讯等)房总面积不小于2000平方米。厂房和动力站房有钢筋混凝土框架结构,多层建筑的,也有钢结构加金属复合板单层建筑的,但布置工艺和动力设备的楼层,因管线众多,层高都较大,至少是7米。 以下经验总结均以50MW生产线为例。 电源是整个工厂的首要条件,仅工艺和动力设备用电功率就在1800KW左右,必须有可靠的电能供应。PECVD设备,制冷机,空压机,空调风机和循环水泵是用电功率较大的设备。 工艺纯水的用量在15吨/小时左右,水质标准都要达到中国电子级水的技术指标GB/T11446.1-1997中EW-1级。工艺冷却水用量也在15吨/小时左右,水质中微粒粒径不宜大于10微米,供水温度宜在15-20℃,供水压力5巴左右,应有可靠的温度,供水压力控制,最好采用变频泵。 压缩空气用量在400NM3/H左右,如果空气品质要求较高,如需要达到压缩空气质量等级的1级甚至更高要求,建议使用无油空压机。如果露点温度要求苛刻,干燥机建议使用组合式。真空排气量在300M3/H左右,水环式真空泵虽然便宜,但是效率下降的也快,不推荐使用。氮气和氧气如果靠近大的气体供应站,一般采用液体储罐供应的方式,初投资低,氮气储罐20立方米左右,氧气10立方米足够。特殊气体如硅烷等,考虑安全因素,单独设置一个特气间还是很有必要的。 空调系统的空气处理方式则视具体土建情况而言,可以采取组合式空气处理机组集中处理,也可以采用干盘管进行分散处理。生产车间出扩散区外,温湿度均只要满足人体舒适性即可,建议冬夏能有一定变化,这样既可节能,又让人能适应室内外温度变化,不易感冒。扩散区由于对洁净度要求较高,需要设计独立的空气处理系统,主要关注的是洁净度,该区散热量也较大。酸排气量不小于10000M3/H,一般采用湿式洗涤、中和的处理方式。有机排气量也不小于10000M3/H,一般采用干式吸附法处理。热排风量也不小于13000M3/H,因为只是普通排气,可以不用处理,直接排放即可。相对而言,硅烷处理要谨慎,否则容易起火。 整个施工试车过程中,特别要注意的是水,气通入设备之前除做好强度严密性试验,确保无渗漏外;务必保证清洗、吹扫试验要干净彻底,否则,设备一旦被污染,再次清洗不但代价昂贵,甚至会造成重大损失。二次配管时,某些设备的特殊需要,则根据业主的要求和初投资而定,如扩散炉具有较强腐蚀性的高温酸性排风;供强酸、强碱、特气的多层管路,PECVD、刻蚀机的隔声泵房等。 厂房设计和施工公司的选择,是考验投资方智慧和眼光的大事,切不可因一时便宜而选择之。没有选择好专业的公司,将会付出成沉重的代价。 工厂建成以后,最重要的就是运行维护。太阳能电池厂房动力保障是一个复杂的系统,需要至少2-4名理论功底扎实,动手能力强、富有高度责任感的工程师核心队伍,经常对各动力系统进行巡察,及时分析和解决出现的问题,甚至适时提出改造方案;否则不能及时发现隐患,很可能等问题出现时导致停产。