『壹』 arf光刻膠是啥意思
ArF光刻膠的是由成膜樹脂、光致產酸劑（簡稱「光酸」，光引發劑的一種）、溶劑、鹼、流平劑以及其他功能助劑。其中，核心原材料是樹脂，而樹脂是由單體通過高分子聚合反應並經過一定的後處理而得到的。ArF光刻膠配製過程包括原材料准備和預處理（樹脂合成、提純、降金雜，以及光酸合成和預處理）、混合、質量控制與調整、灌裝入庫等。